一、传统机械式工具

直尺与平板

- 直尺：

通过观察直尺与被测表面缝隙判断平面度，适用于低精度需求场景。

- 平板：金属或石材制成，通过比较接触程度评估平面度，精度较低但操作简单。

塞规/塞尺测量法

- 使用不同厚度的塞尺组合，通过间隙判断平面度，适合边缘检测，但精度有限（常规塞尺精度为10μm）。

水平仪/数字水平仪

- 通过气泡位置判断平面度，适合中等精度测量，但需反复调整位置且效率较低。

二、光学与激光测量工具

光面板与激光垂直度仪

- 光面板：

透明玻璃或塑料板，通过光束反射观察表面起伏，精度较高。

- 激光垂直度仪：利用激光干涉原理，快速、高精度测量垂直度，适用于建筑、机械等领域。

激光平面干涉仪（平晶干涉法）

- 通过光束干涉现象测量平整度，适合高精度光洁表面检测，如光学元件。

三、现代精密测量设备

三坐标测量机（CMM）

- 三维坐标测量系统，可精确获取表面点云数据，适用于复杂形状和高精度要求场景。

数据采集仪

- 实时采集传感器数据并分析平面度误差，可自动判断是否合格，提高效率。

四、其他辅助工具

吸盘式平面度检测器：

利用真空吸附固定工件，通过检测针或传感器测量表面起伏，精度高且适用范围广。

平行仪：通过测量两平行尺间距判断平面度，适合较大尺寸工件。

五、传统间接测量方法

液平面法：基于连通器原理，测量连续平面，但需较长时间且对温度敏感。

总结

选择工具需结合精度要求、测量对象尺寸及场景。高精度场景推荐激光干涉仪或CMM，快速检测可选吸盘式检测器，而日常维护或低精度需求可用直尺、水平仪等。